摘要
采用HiPIMS技术在不同N-2流速下沉积TiN涂层，以提高金属双极板的耐蚀性和导电性。结果表明:TiN涂层的表面组织对N-2流速有很强的依赖性，所有样品(N-2流速为4 ~ 10 sccm)均符合DOE 2025标准，并表现出良好的疏水性，具有很大的工业应用潜力。其中，当N-2流速为8 sccm时，TiN涂层致密度高，表面组织最佳，表面粗糙度最低，为1.083 nm，硬度最高，为31.172 GPa;优化后的TiN涂层具有良好的耐腐蚀性能，腐蚀电流密度为0.278 mu A cm(-2)，界面接触电阻值为3.51 m Omega cm(2)。这项工作为大规模制备高性能金属双极板涂层开辟了新的途径。(C) 2022年氢能出版有限责任公司，Elsevier Ltd出版。版权所有。

关键词加上:316l不锈钢氮气流速燃料电池薄膜腐蚀ss316l

发表在国际氢能杂志，第47卷;10.1016/ jjhyden2022.09.066, 2022年11月29日